دی اکسیدهای سیلیکون
دی اکسیدهای سیلیکون دی اکسید سیلیکون متداول ترین ماده عایق در فناوری IC و در زمینه های دیگر فناوری ساخت دستگاه سیلیکون است. در این مقاله جنبه های مختلف رشد و رسوب دی اکسیدهای سیلیکون را توضیح می دهد. همچنین به عنوان مثال استفاده از انواع مختلف دی اکسیدهای سیلیسیم برای اهداف مختلف در ساخت دستگاه های MEMS را نشان می دهد. …..